截至2025年10月20日 11點10分，上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)強勢上漲1.11%，成分股和林微納上漲2.79%，耐科裝備上漲2.72%，拓荊科技上漲2.54%，中巨芯，晶升股份等個股跟漲?？苿?chuàng)半導(dǎo)體ETF（588170）上漲1.02%，最新價報1.38元。拉長時間看，截至2025年10月17日，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF近1月累計上漲5.48%。

流動性方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF盤中換手8.03%，成交2.91億元。拉長時間看，截至10月17日，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF近1周日均成交8.43億元，領(lǐng)先同類。規(guī)模方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF最新規(guī)模達(dá)35.65億元，創(chuàng)成立以來新高，領(lǐng)先同類。

10月19日，士蘭微發(fā)布公告稱，公司、全資子公司廈門士蘭微擬與廈門半導(dǎo)體投資集團(tuán)有限公司、廈門新翼科技實業(yè)有限公司共同向子公司士蘭集華增資51億元，士蘭集華為該項目的實施主體。項目規(guī)劃總投資200億元，規(guī)劃產(chǎn)能4.5萬片/月，分兩期實施，兩期建設(shè)完成后，將在廈門市海滄區(qū)形成年產(chǎn)54萬片的生產(chǎn)能力。

相關(guān)ETF：公開信息顯示， 科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF （588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中 半導(dǎo)體設(shè)備 （61%）和半導(dǎo)體材料（23%）細(xì)分領(lǐng)域的硬科技公司。 半導(dǎo)體設(shè)備 和材料行業(yè)是重要的國產(chǎn)替代領(lǐng)域，具備國產(chǎn)化率較低、國產(chǎn)替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導(dǎo)體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術(shù)進(jìn)展。

半導(dǎo)體材料ETF （562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356、C類：020357），指數(shù)中半導(dǎo)體設(shè)備（61%）、半導(dǎo)體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導(dǎo)體上游。